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Vol.77 No.11 pp.1109-1116 2-2 大直径シリコンウェーハの超平たん化技術 阿部孝夫 中里泰章 | あらまし | 本文:PDF(1MB) |
Vol.64 No.8 pp.833-833 4th International Symposium on Silicon Materials Science and Technology 阿部孝夫 | あらまし | 本文:PDF(69.8KB) |
Vol.58 No.2 pp.159-163 半導体結晶技術-2.成長・2.1 Si結晶の成長(その2)- 阿部孝夫 | あらまし | 本文:PDF(375.6KB) |
Vol.58 No.1 pp.41-51 半導体結晶技術-2.成長・2.1 Si結晶の成長(その1)- 阿部孝夫 | あらまし | 本文:PDF(2.9MB) |