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著者検索結果:Stefan FÖLSCH(2件)
1~2件
Vol.98
No.7
pp.590-596
原子操作による半導体微細加工と超精密量子ドット[
・完]――原子1個の誤差もない半導体量子構造――
蟹澤 聖
Stefan FÖLSCH
あらまし
|
本文:PDF
(1.4MB)
Vol.98
No.6
pp.500-504
原子操作による半導体微細加工と超精密量子ドット[
]――極限の精度を実現するリソグラフィー技術――
蟹澤 聖
Stefan FÖLSCH
あらまし
|
本文:PDF
(935.5KB)
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