著者検索結果：リソグラフィー(3件)
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| Vol.98 No.7 pp.590-596 原子操作による半導体微細加工と超精密量子ドット［  ・完］――原子1個の誤差もない半導体量子構造――蟹澤 聖 Stefan FÖLSCH | あらまし | 本文:PDF(1.4MB) |
| Vol.98 No.6 pp.500-504 原子操作による半導体微細加工と超精密量子ドット［  ］――極限の精度を実現するリソグラフィー技術――蟹澤 聖 Stefan FÖLSCH | あらまし | 本文:PDF(935.5KB) |
| Vol.94 No.6 pp.489-493 ナノインプリントリソグラフィーとモールド技術 栗原 健二 | あらまし | 本文:PDF(1.2MB) |
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Online ISSN:2188-2355
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