あらまし

センサ技術の発展

奥山 雅則 

Vol.100 No.9pp.913-918

発行日:2017/09/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:創立100周年記念特集 エレクトロニクスが創り出したもの,創り出すもの

専門分野:

キーワード:
センサMEMS三次元構造半導体

本文:PDF(893.7KB)

あらまし:
センサは外界の種々の情報を捉える素子で,温度,磁気,光,圧力,加速度等の物理量,そしてガス,イオン,バイオ物質等の化学量を電気や光等の伝達・処理しやすい信号に変換する.センサは,新物質の発見,MEMS三次元構造の作製技術の進歩,集積回路素子との一体化技術の改良,信号処理技術の進化とともに小形化,高機能化,多様化,多次元化,低価格化が図られ,発展してきた.これらの技術的発展と現状について,代表的なセンサを分類して紹介する.

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