あらまし

シリコンLSIの発展を支える超微細トランジスタプロセス技術－0．1およびSub－0．1μmMOSFETの高性能化のためのプロセス技術－

岩井洋 百瀬寿代 

Vol.79 No.3pp.250-258

発行日:1996/03/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

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