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SiGe（シリコンゲルマニウム）薄膜デバイスの研究状況と可能性

三輪浩之 中川清和 森川武則 半那純一 

Vol.80 No.12 pp.1296-1301

Publication Date:1997/12/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

Type of Manuscript:教養のページ

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