SiGe(シリコンゲルマニウム)薄膜デバイスの研究状況と可能性
三輪浩之 中川清和 森川武則 半那純一
Vol.80 No.12pp.1296-1301
発行日:1997/12/01
Online ISSN:2188-2355
Print ISSN:0913-5693
種別:教養のページ
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