あらまし

集積化CMOS-MEMS技術

森村　浩季 武藤　伸一郎 石井　仁 町田　克之 

Vol.92 No.1pp.26-30

発行日:2009/01/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

専門分野:

キーワード:
集積化, CMOS, MEMS, 指紋センサ, RF IC, 

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あらまし:
CMOS技術とMEMS技術を融合した集積化CMOS-MEMS技術について述べる．本技術は小形・薄形化，高機能化，高精度化，量産化などが図れる．従来技術の動向と集積化CMOS-MEMS技術の位置付けを述べ，プロセス及び技術的課題について概説する．応用例として，約6万のMEMS可変容量とセンサ回路により高感度化を実現したMEMS指紋センサや複数RF MEMSスイッチのCMOSによる3.3V制御を実現したSP8Tスイッチについて述べ，CMOS回路とMEMSデバイスの融合により期待される今後の展望について述べる．

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