あらまし

光通信用モノリシック集積半導体光デバイスの実用化と今後の展開

小路 元 

Vol.95 No.11pp.1021-1025

発行日:2012/11/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:特集 世界的な競争領域にある最先端デバイス技術

専門分野:

キーワード:
光通信モノリシック集積変調器集積半導体レーザ波長可変レーザ

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あらまし:
InP 系材料を用いたモノリシック集積の光デバイス技術は,光通信システムの飛躍的な発展とともに進展してきた.本稿では,これまでの集積技術の流れを振り返り,まずは重要な要素技術である結晶成長並びにプロセスについて簡単にまとめた上で,実用デバイスとしての応用例を紹介する.具体例として,変調器集積半導体レーザと波長可変レーザの二つを取り上げ,それぞれのモノリシック集積半導体光デバイスとしての技術内容と特徴を紹介する.また,今後期待される大規模集積化に向けての課題と今後の方向性について展望する.

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