あらまし

SiCMOSFET 向けAlON 高誘電率ゲート絶縁膜技術を開発──信頼性の課題を克服──

ニュース委員会 

Vol.96 No.5pp.371-372

発行日:2013/05/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:ニュース解説

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