著者検索結果:岸野正剛(2件)

1~2件
Vol.63 No.8 pp.852-858  
超LSI用シリコン単結晶の微小欠陥
岸野正剛 
あらまし | 本文:PDF(446.3KB)

Vol.58 No.6 pp.618-627  
半導体結晶技術-5.評価・結晶の格子欠陥について-
岸野正剛 
あらまし | 本文:PDF(1020.2KB)

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Online ISSN:2188-2355

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