■2. 光 M E M S
光のどのような性質を利用して機能を発揮するかに着目して,光MEMSを三つのクラスに分類できる.第1は単純な幾何光学に基づくもので,鏡やレンズを動かして光ビームを走査するスキャナやスイッチ,光ビームの一部を遮る構造の光減衰器などが相当する.第2は,光の波動性を利用するもので,可変ファブリペロー干渉計に基づく可変波長フィルタ/レーザ,変調器,イコライザが代表的である.このほか,各種の可変干渉計や可動回折格子なども種々の応用に用いられている.第3は,いわゆるナノフォトニクス原理に基づくもので,微小開口からのエバネセント光を利用する走査近接場光顕微鏡や超高密度光データストレージ,光ファイバや光導波路のコアからのエバネセント光結合を用いる光センサや光減衰器が研究されている.またフォトニッククリスタルを光MEMSと組み合わせたデバイスも提案されている.
■3. 光通信ネットワークへの応用 表1 光通信ネットワークでの光MEMS応用 |
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