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Vol.95 No.11 pp.965-968 22 nm 以細対応マルチゲートFinFETデバイス技術 昌原 明植 | あらまし | 本文:PDF(765.7KB) |
Vol.91 No.1 pp.20-24 マルチゲートFinFETのシミュレーション 大村 泰久 | あらまし | 本文:PDF(590.9KB) |
Vol.91 No.1 pp.25-29 最先端FinFETプロセス・集積化技術 稲葉 聡 | あらまし | 本文:PDF(833KB) |
Vol.91 No.1 pp.30-35 四端子FinFETデバイス技術──課題と対策及び展望── 昌原 明植 | あらまし | 本文:PDF(1.2MB) |