超スマート社会に向けたダイヤモンド半導体研究開発の最新動向と将来展望
Vol.107 No.11pp.1056-1062
発行日:2024/11/01
Online ISSN:2188-2355
Print ISSN:0913-5693
種別:特集 モビリティの最新技術と今後の展望
専門分野:
キーワード:
ダイヤモンド半導体, ダイヤモンドウェーハ, 宇宙通信, Beyond 5G,
本文:PDF(1.7MB)>>
あらまし:
佐賀大学では,究極の半導体と呼ばれているダイヤモンド半導体の研究を推進している.これまでダイヤモンド半導体デバイスは動作していたものの,出力電流値が低く,すぐに劣化してしまうため,究極の半導体と言われてきたにもかかわらず,実用化は容易ではないとされてきた.佐賀大学はデバイス寿命の短い原因が,ドーピング層中の酸素とキャリヤ走行層中の水素の化学反応によることを世界で初めて突き止め,この成果を基にドーピング層とキャリヤ走行層を空間的に分離した新動作原理を考案し,ダイヤモンド半導体デバイスを作製した.本稿では,超スマート社会に向けたダイヤモンド半導体研究の最新動向,及び将来展望について概説する.