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マイクロエレクトロニックデバイスの将来－微細化，大規模集積化，高機能化の可能性とその限界－

菅野卓雄 向井久和 伊藤弘昌 石黒武彦 

Vol.71 No.8 pp.783-802

Publication Date:1988/08/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

Type of Manuscript:シンポジウム

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