あらまし

高品質塗布ペンタセン薄膜と薄膜トランジスタ

南方　尚 

Vol.92 No.1pp.49-54

発行日:2009/01/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

専門分野:

キーワード:
有機半導体, 液体プロセス, 薄膜トランジスタ（TFT）, 

本文:PDF(1.6MB)>>

記事を購入

あらまし:
結晶性有機半導体（ペンタセン）はアモルファスシリコンと同等の移動度を発現するものの難溶性のため塗布形成が困難であったが可溶化により塗布薄膜形成が可能となった．薄膜トランジスタ（TFT）への適用における薄膜高品質化を目指し，溶液からの薄膜結晶成長制御による欠陥低減，TFTの均一性，安定性など信頼性に関する最近の知見について報告する．

ログイン

 > 

パスワードを忘れた場合は

メニュー

Online ISSN:2188-2355

…ジュニア会員・学生員に
　お勧めの記事