微細Si 貫通ビアによる三次元インタコネクト技術
小柳 光正 田中 徹
Vol.94 No.12pp.1027-1032
発行日:2011/12/01
Online ISSN:2188-2355
Print ISSN:0913-5693
種別:小特集 インタコネクション技術
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