あらまし

LSI 産業を変えるミニマルファブ構想の進展

原 史朗 前川 仁 池田 伸一 Sommawan Khumpuang 中野 禅 

Vol.96 No.8pp.649-655

発行日:2013/08/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

専門分野:

キーワード:
ミニマルファブ局所クリーン化ハーフインチ設備投資

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あらまし:
産総研では,新しい超小形半導体システム─ミニマルファブモデルを提案している.少量ユーザは,品種ごとには小さな存在だが,多品種少量マーケット全体では,大量生産マーケットに匹敵する規模を持っている.ミニマルファブが実現すると,ユーザの求めに応じて1 個ずつデバイスを製造することができるようになる.ミニマルファブでは,1 ラインの投資額は従来のメガファブと比べ数千分の1 のおよそ5 億円程度で,①ハーフインチ径ウェーハ,②装置サイズ30 cm幅,③局所クリーン化生産システムよるクリーンルーム不要化,という三つの特徴を有する.

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