あらまし

LSI 産業を変えるミニマルファブ構想の進展

原　史朗 前川　仁 池田　伸一 Sommawan Khumpuang 中野　禅 

Vol.96 No.8pp.649-655

発行日:2013/08/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

専門分野:

キーワード:
ミニマルファブ, 局所クリーン化, ハーフインチ, 設備投資, 

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あらまし:
産総研では，新しい超小形半導体システム─ミニマルファブモデルを提案している．少量ユーザは，品種ごとには小さな存在だが，多品種少量マーケット全体では，大量生産マーケットに匹敵する規模を持っている．ミニマルファブが実現すると，ユーザの求めに応じて1 個ずつデバイスを製造することができるようになる．ミニマルファブでは，1 ラインの投資額は従来のメガファブと比べ数千分の1 のおよそ5 億円程度で，①ハーフインチ径ウェーハ，②装置サイズ30 cm幅，③局所クリーン化生産システムよるクリーンルーム不要化，という三つの特徴を有する．

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