あらまし

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センサ技術の発展

奥山　雅則 

Vol.100 No.9pp.913-918

発行日:2017/09/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:創立100周年記念特集　エレクトロニクスが創り出したもの，創り出すもの

専門分野:

キーワード:
センサ, MEMS, 三次元構造, 半導体, 

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あらまし:
センサは外界の種々の情報を捉える素子で，温度，磁気，光，圧力，加速度等の物理量，そしてガス，イオン，バイオ物質等の化学量を電気や光等の伝達・処理しやすい信号に変換する．センサは，新物質の発見，MEMS三次元構造の作製技術の進歩，集積回路素子との一体化技術の改良，信号処理技術の進化とともに小形化，高機能化，多様化，多次元化，低価格化が図られ，発展してきた．これらの技術的発展と現状について，代表的なセンサを分類して紹介する．

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