あらまし
Si-RF振動子とそのセンサ応用
Vol.102 No.5pp.398-402
発行日:2019/05/01
Online ISSN:2188-2355
Print ISSN:0913-5693
種別:特集 IoTの全て
専門分野:
キーワード:
振動子, IoT, タイミング素子, 磁気センサ, バイオセンサ,
本文:PDF(847.6KB)>>
あらまし:
近年のマイクロ・ナノスケールの微細加工技術の進展により，より小形・高性能なセンサやシステムが実現できるようになった．その応用例の一つとして振動子を挙げることができる．シリコン振動子は安定な周波数信号を発生するタイミング素子や各種の高感度センサなど，より小形で低消費電力を必要とするIoT用のデバイスへの応用が期待されている．本稿では，筆者らの研究を中心として，これらIoT用のデバイス開発の一端を紹介する．
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