異種材料集積を用いた機能可変光集積回路

西山　伸彦; 庄司　雄哉

あらまし

異種材料集積を用いた機能可変光集積回路

西山　伸彦庄司　雄哉

Vol.105 No.11pp.1368-1374

発行日:2022/11/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:特集　シリコンフォトニクスを用いた光通信素子の研究開発最新動向

専門分野:

キーワード:
異種材料集積, 光FPGA, ハイブリッド集積, 不揮発性光スイッチ,

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あらまし:
将来的なシリコンプラットホーム上の機能可変光集積回路の実現を目的として，そのための技術的課題を議論する．異種材料集積直接接合技術として表面活性化接合を検討し，異なる格子定数を有する基板を直接接合することに成功した．この方法によるⅢ-Ⅴ族半導体／SOI集積を利用した光能動素子（レーザ，光増幅器，受光器）及び組み合わせた機能回路として波長変換回路を実証した．また磁性材料集積による不揮発性光スイッチについて検討し，MZI構造とリング構造において不揮発性動作とともに，直接接合による光スイッチを実証した．

あらまし

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