過酷事故対応可能なダイヤモンド半導体及び検出器システム
Vol.105 No.4pp.299-305
発行日:2022/04/01
Online ISSN:2188-2355
Print ISSN:0913-5693
種別:小特集 極限環境の計測を支える回路とシステム技術
専門分野:
キーワード:
ダイヤモンド, 過酷事故対応, CAMS, MESFET, RADDFET,
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あらまし:
ダイヤモンドは半導体材料の中でもバンドギャップが大きく軽元素結晶であるため高温や放射線環境下でも長期安定な結晶体かつ電気的な誤動作も少ない材料である.これまで,ダイヤモンド半導体製造プロセスの特殊性やウェーハが高価であることから,半導体素子の開発が遅れていたが,近年プロセスが成熟し高性能素子が報告されている.本稿では過酷事故環境でも生存が可能なエレクトロニクスの実現に向けたダイヤモンド半導体とダイヤモンド半導体を用いた回路について開発の現状を述べる.