あらまし

LSIオンチップ光配線技術

大橋　啓之 鈴木　信夫 西　研一 

Vol.91 No.3pp.201-206

発行日:2008/03/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:小特集　次世代コンピュータを支える超高速・超高密度インタコネクション技術

専門分野:

キーワード:
光インタコネクト, シリコンフォトニクス, グローバル配線, 表面プラズモン, PLZT, 

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あらまし:
光配線は伝送損や遅延が少なくかつ電磁雑音に強いという大きな利点を持つ．しかし，短距離の電気配線を光配線に置き換えるには，電気信号と光信号の変換素子が十分小さくまたシリコンチップ上に集積可能なプロセスにより製造できるものである必要がある．ここでは，LSI上の光配線を目指して筆者らが開発したSiON光導波路と結合したSiナノフォトダイオード，及びナノ結晶粒セラミックスを用いた超小形電気光学変調器を利用したオンチップ光配線について紹介する．

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