あらまし

ナノインプリントリソグラフィーとモールド技術

栗原　健二 

Vol.94 No.6pp.489-493

発行日:2011/06/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

専門分野:

キーワード:
ナノインプリント, リソグラフィー, モールド, ナノ加工, エッチング, 

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あらまし:
ナノインプリントリソグラフィー（NIL）は，微細パターンを高精度でかつ低コストで転写できる技術として注目されており，その応用が期待されている．NIL は等倍転写技術であるため，モールドのパターン加工には高精度な加工技術が要求され，モールド加工技術がキーとなる．半導体リソグラフィーとは異なり，三次元構造など，複雑な構造加工も必要となる．本稿では，NIL とモールド技術を説明し，最新のモールド加工例を示すとともに，NIL による転写例についても紹介する．

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