テラヘルツ分光システムの構築――テラヘルツ時間領域分光法を中心にして――

北岸　恵子

あらまし

北岸　恵子

Vol.97 No.11pp.938-943

発行日:2014/11/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:特集　最新テラヘルツ技術と実用化に向けた取組み

専門分野:

キーワード:
テラヘルツ, テラヘルツ時間領域分光, 光伝導スイッチ素子, DAST, 膜厚測定,

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あらまし:
テラヘルツ時間領域分光（THz-TDS）は，テラヘルツ波を利用した分析装置では最もよく用いられる手法である．各周波数の電界の振幅強度に加えて位相情報も得られること，サンプルの深さ方向の情報が得られることなどの特徴がある．THz-TDSシステムでは，フェムト秒パルスレーザを用いるため，テラヘルツ波源，検出器，遅延ステージ，光学部品などについて，測定の目的に適した選択，設計を行うことが重要である．測定試料のサイズや形状に応じたサンプル保持部，データ解析も工夫すべきであろう．これらについて，最近の研究開発状況を含めて紹介する．

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