あらまし

酸化物半導体─―総論─―

細野　秀雄 

Vol.97 No.3pp.178-186

発行日:2014/03/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:小特集　酸化物エレクトロニクスの進展と将来展望

専門分野:

キーワード:
酸化物半導体, バンドラインナップ, キャリヤドーピング, 材料設計, 

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あらまし:
酸化物半導体は典型的な半導体とはかなり違った性質を有する．本稿では本小特集の序論としてその特徴を概説する．まず，バンドラインナップを基にキャリヤドーピングの成否とp/n指向性を総括的に解説する．次いで四つの具体例を取り上げ，典型的半導体と比較しながら，酸化物半導体の特徴を記述する．例としては，両極性酸化物半導体，超ワイドギャップ酸化物12CaO･7Al2O3への電子ドーピング，混合アニオン系酸化物半導体と透明アモルファス酸化物半導体を取り上げ，その特性を電子構造から解説する．そして最後に今後を展望する．

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