あらまし

原子操作による半導体微細加工と超精密量子ドット［・完］――原子1個の誤差もない半導体量子構造――

蟹澤　聖 Stefan FÖLSCH 

Vol.98 No.7pp.590-596

発行日:2015/07/01

Online ISSN:2188-2355

Print ISSN:0913-5693

種別:解説

専門分野:

キーワード:
リソグラフィー；原子操作；STM；ナノ構造；量子ドット, 

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あらまし:
本稿で解説する原子操作技術は，“Beyond CMOS”と呼ばれる次世代技術や量子コンピュータ実現に応用できる可能性がある．連載後編の今回は，原子1個の誤差もない超精密量子ドット作製とその集積化に成功した最近の実験を紹介する．原子操作技術の持つ潜在力と将来性について解説し，これからの電子技術を展望する．

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